שיטת ניקוי פרוסות סיליקון

יש לנקות בקפדנות פרוסות סיליקון במהלך הייצור של התקני מוליכים למחצה. אפילו כמויות עקבות של זיהום עלולות לגרום לכשל במכשיר. מטרת הניקוי היא להסיר זיהומים מזיהום פני השטח, לרבות חומרים אורגניים ואי-אורגניים. חלק מהזיהומים הללו קיימים על פני השטח של פרוסות סיליקון במצבים אטומיים או יוניים, וחלקם קיימים בצורה של סרטים דקים או חלקיקים. זיהום אורגני כולל פוטו-רזיסט, שאריות ממסים אורגניים, שעווה סינתטית ושומן או סיבים שהובאו ממגע אנושי עם מכשירים, כלים וכלים. זיהום אי-אורגני כולל מתכות כבדות כגון זהב, נחושת, ברזל וכרום, אשר משפיעות קשות על חיי המיעוט ועל מוליכות פני השטח; מתכות אלקליות כגון נתרן, הגורמות לדליפה חמורה; זיהום חלקיקים כולל סיליקון סיליקון, אבק, חיידקים, מיקרואורגניזמים, סיבים קולואידים אורגניים וכו' העלולים לגרום לפגמים שונים. קיימות שתי שיטות להסרת זיהום: ניקוי פיזי וניקוי כימי.